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Prozessklimatisierung in der Elektronik- und Halbleiterproduktion

Punktuelle Luftentfeuchtung für jeden Verarbeitungsschritt

Prozessklimatisierung mit Adsorptionstrocknern wirtschaftlich umsetzen

Viele Verarbeitungsprozesse in der Produktion von Elektronikbauteilen und Halbleitern erfordern eine extrem trockene Luft – teilweise mit Taupunkten von weit unter 0 °C. Diese niedrigen Taupunkte können sehr gut mit leistungsstarken Adsorptionstrocknern erreicht werden, auch punktuell innerhalb einer Maschine.

Viele elektronische und elektromechanische Bauelemente reagieren hochempfindlich auf Feuchtigkeit. Bei zu hoher Luftfeuchtigkeit kann es in der Elektronik- und Halbleiterproduktion zu Problemen kommen wie Korrosion an den Leitungspunkten und Kondensation auf der Oberfläche von Mikrochips. Zudem sind einige chemische Stoffe sehr störanfällig: So kann zu hohe Luftfeuchtigkeit zu schlechter Haftung von Fotolacken führen, die wiederum zu Betriebsstörungen der Halbleiterbaugruppe führt. Viele dieser Prozesse müssen gezielt lokal und unabhängig von der Raumluft entfeuchtet werden. Mit den Adsorptionstrocknern der TTR-Serie sind punktuelle Entfeuchtungen realisierbar – u. a. auch durch gezieltes Zuführen von trockener Luft über Schläuche.

Die stationären und mobilen Adsorptionstrockner der TTR-Serie sorgen jeweils durch eine der drei Varianten des TTR-Funktionsprinzips für eine hohe Entfeuchtungsleistung bei gleichzeitig niedrigem Energieverbrauch. Für die punktuelle Prozessklimatisierung in der Elektronik- und Halbleiterindustrie eignen sich die mobilen Adsorptionstrockner TTR 400 D und TTR 500 D besonders gut. Zudem ist es möglich, mit unseren Montagezelten in Kombinationen mit Luftentfeuchtern geschlossene Klimazonen zu realisieren. Für die Prozessklimatisierung in größeren Räumen oder Fertigungsstraßen, in denen niedrige Taupunkte erreicht werden müssen, empfehlen wir Ihnen die stationären Adsorptionstrockner mit den Modellnummern TTR 800 bis 13500.

TTR 400 D und TTR 500 D erreichen extrem niedrige Taupunkte

Die beiden innovativen Adsorptionstrockner mit dem Kennzeichen „D“ für Duoventic-Luftmengenregulierung, TTR 400 D und TTR 500 D, erreichen die größtmögliche Flexibilität bei der Einstellung der erforderlichen Trockenluftmenge. Im Gegensatz zum konventionellen Durchluftbetrieb können mit diesen beiden mobilen Adsorptionstrocknern bis zu 30 °C tiefere Taupunkttemperaturen gegenüber der angesaugten Prozessluft erreicht werden. Dadurch lassen sich Taupunkte auch weit unter 0 °C und somit wesentlich tiefere Trocknungszustände sowie ein deutlich energieeffizienterer Betrieb erreichen! Niedrige Taupunkte im Minusbereich sind beispielsweise beim Zwischenlagern von elektronischen Bauteilen in Trockenschränken erforderlich, bevor sie weiteren Produktionsprozessen zugeführt werden können. Ein anderes Beispiel, bei dem extrem niedrige Taupunkte von weit unter -40 °C erreicht werden müssen, sind QS-Prüfstände in der Produktion von Hochleistungshalbleitern (IGBTs). Diese dürfen trotz der hohen Minusgrade nicht vereisen, was nur durch extreme Luftentfeuchtung gelingt.

Weitere Lösungen


Nutzen Sie unseren Best-Practice-Industrieservice

Nutzen Sie den Best-Practice-Industrieservice von Trotec

Weil jeder Industriebetrieb charakteristische Prozessabläufe, Anlagen und Räumlichkeiten hat, erfordert auch jede Luftbehandlungslösung eine fallspezifische Gerätekonfiguration. In der Summe lassen sich die kombinierten Auswirkungen von Luftströmen, Luftfeuchtigkeitsverhältnissen und Temperaturschwankungen auf rein theoretischer Basis oft nur schwer berechnen, beispielsweise in Schleusenbereichen oder auf Förderwegen. Die Folge: Unnötige zusätzliche Kosten durch zu hoch berechneten Bedarf oder – noch schlimmer – in der Praxis nicht ausreichend funktionierende Lösungen.

Mit unseren Experten können Sie rechnen

Um den Bedarf in der Industrie exakt zu berechnen und maßgeschneiderte Konzepte für die Klimakonditionierung zu entwickeln, braucht man erfahrene Klimaspezialisten. Vertrauen Sie unserem Expertenteam und den Dienst­leistungen des Industrie-Services: Wir analysieren gemeinsam mit Ihnen vor Ort die individuelle Bedarfssituation, ermitteln den spezifischen Gerätebedarf und erarbeiten eine maßgeschneiderte Projektlösung bis hin zur genauen Platzierung der Geräte.

Bevor die projektierten stationären Aggregate installiert werden, arbeitet unser Service-Team im Rahmen eines Probebetriebes zuerst mit mobilen Ausführungen der Trockner, die problemlos aufgestellt werden können, ohne dass bauliche Maßnahmen erforderlich sind.

Während dieser Validationsphase dokumentieren wir alle relevanten Klimaparameter wie Lufttemperatur, relative Luftfeuchtigkeit, Taupunkt oder Luftströmungsgeschwindigkeit zur finalen Optimierung der Bedarfsberechnung.

Nur Trotec bietet Ihnen diesen Vorteil:

Durch die einzigartige Möglichkeit eines unverbindlichen Probebetriebes investieren Sie ausschließlich in nachweislich bei Ihnen im Praxisbetrieb und für Ihren Bedarf perfekt funktionierende Lösungen! Erst wenn Sie unser Konzept überzeugt hat, werden die stationären Aggregate geordert. Für die Zeit der Probeaufstellung fällt lediglich eine günstige Mietpauschale an.

Unsere Industrieberater informieren Sie auch gerne persönlich unter Tel. +49 2452 962-777 über unseren Best-Practice-Industrieservice. Oder Sie stellen einfach direkt eine Anfrage mit Ihrem persönlichen Bedarf an unsere Industrieexperten. Wir antworten prompt!

Sie benötigen Adsorptionsluftentfeuchter in Sonderausführung?

Auf Wunsch produzieren wir auch maßgeschneiderte Adsorptionsluftentfeuchter als Sonderausführung

Gerne produzieren wir auf Wunsch auch maßgeschneiderte Adsorptionsluftentfeuchter als perfekt auf Ihren Bedarf abgestimmte Sonderausführung „made in Germany“, zum Beispiel:

  • TTR-Trocknungsaggregate in Hygieneausführung
  • TTR-Trocknungsaggregate für LABS-freie Trockenluft
  • TTR-Trocknungsaggregate mit extrem tiefen Taupunkt

Nutzen Sie die Möglichkeit, Sonderausführungen mit speziell ange­passten Komponenten für Ihren individuellen Bedarf in enger Abstim­mung mit unseren Spezialisten planen, konstruieren und anfertigen zu lassen: Hier erfahren Sie mehr …

Luftentfeuchter bei der Prozessklimatisierung in der Elektronik- und Halbleiterproduktion

Weitere Anwendungsbeispiele zur Klimatisierung

  • Archive & Museen

    Ob Ausstellung oder Aufbewahrung – für private und öffentliche Museen, Sammlungen, Bibliotheken oder Archive gilt gleichermaßen: Raumklima und Luftqualität sind die bedeutendsten Faktoren zum Erhalt ihrer wertvollen Exponate oder Archivarien.

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  • Klimatisierung in der Geflügelzucht

    Ab einer Temperatur von 10 Grad Celsius lässt die Legeleistung von Hennen erheblich nach. Auch in der Hähnchenmast dürfen die Temperaturen in der kalten Jahreszeit nicht allzu sehr absinken. Denn nicht alle Rassen sind so robust, dass sie einen Temperatursturz im Stall überstehen können. Daher sollten Landwirte gerüstet sein und ein Heizsystem zur Hand haben, um ihren Tieren auch im Winter...

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  • Konditionierung beim Frosten

    Wo gefrostet wird, fließt Wasser. Beim Frosten von Waren spielt deshalb die Luftentfeuchtung in der Klimakonditionierung auch eine große Rolle. Die Trotec Group liefert der Transport- und Logistikbranche leistungsstarke Industrieentfeuchter für diese Aufgabe. Zudem können Sie sich auf die Berechnungen unserer Klimaspezialisten verlassen, die die Konzeption für Sie übernehmen.

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  • Konditionierung Kühllogistik

    In der Klimakonditionierung der Kühllogistik wird mit Luftentfeuchtern der Taupunkt abgesenkt, damit sich kein Kondenswasser bildet. Die Trotec Group liefert Ihnen für sämtliche Anforderungen passende Geräte. Es stehen mobile oder stationäre Lösungen mit Kondens- oder Adsorptionstechnologie zur Verfügung.

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  • Prozesse klimatisieren in der Industrie

    Bei der Prozessklimatisierung in der Industrie kommen oft Konzepte mit stationärer bzw. mobiler Luftentfeuchtung zum Einsatz. Häufig ist lokal in Maschinen, Anlagen oder einzelnen Arbeitsprozessen trockenere Luft erforderlich – konstant und unabhängig von den Umgebungsbedingungen. Bei der Trotec Group finden Industriekunden dafür leistungsstarke Adsorptionstrockner.

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Trotec-Produkte für die Elektronik- & Halbleiterindustrie

 Serienausstattung

 optional erhältlich

 nicht verfügbar

Anwendungsbeispiele für die Elektronik- & Halbleiterindustrie

  • Elektrothermografie

    In welchem Zustand sind die Stromleitungen, die in einer Wand oder in einer Apparatur verborgen sind? Ist die Kunststoffummantelung bereits brüchig? Gibt es Fehler bei den Anschlüssen? Steht ein Stromkabel oder ein Anschluss kurz davor, sich abzulösen oder droht die Isolierung aufzubrechen, ist der Schritt zu einem größeren Schaden kein großer. Um einen Kabelbrand und Ausfälle des elektrischen...

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  • Trockenluftlager

    Die Anforderungen in einem Trockenluftlager sind in vielen Branchen gleich: Bakterienwachstum an Lebensmitteln, Verklumpungen von Pulvern und Korrosion an Metallteilen werden vermieden, wenn die relative Luftfeuchte konstant unter 50 % gehalten wird. Als Schimmelschutz reichen schon 70 % r.F. Mit den Luftentfeuchtern der TTR-Serie sowie passenden Datenloggern stehen Systeme zur Luftentfeuchtung...

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  • Kabelreparatur

    Kabel in der Industrie sind häufig härtesten Umweltbedingungen ausgesetzt. Da kommt es zu Defekten, durch die die notwendige Stromversorgung unterbrochen wird – und das oftmals für längere Zeit. Um schwerwiegende Produktionsausfälle zu verhindern oder die Instandsetzung so zügig wie möglich durchführen zu können, werden Kabelbrüche und -defekte durch Infrarotthermografie lokalisiert. Für eine...

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  • Luftbefeuchtung in Serverräumen

    Eine zuverlässig arbeitende Technik ist das wichtigste Kriterium für Kunden, die an ein Rechenzentrum angeschlossen sind. Ein eigener Serverraum ist quasi das Herzstück einer Firma und entsprechend muss auch dort die Technik dauerhaft rund laufen. Die IT-Geräte müssen in einem tadellosen Zustand sein. Dafür muss in Rechenzentren und Serverräumen das Klima auf die Anforderungen der Technik...

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  • Luftentfeuchtung im Trockenraum

    Bei der Produktion von Elektronik und Halbleitern kann Luftfeuchtigkeit zu elektrischer Aufladung führen. Deshalb finden sensible Verarbeitungsschritte in Reinst- und Trockenräumen statt. Für diese hohen Anforderungen bei der Luftentfeuchtung sind die mobilen Adsorptionstrockner der TTR-Serie ideal.

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  • Luftentfeuchtung Platinenlager

    Bei der Lagerung von Leiterplatten kann Luftfeuchtigkeit zu elektrischer Aufladung und Patinabildung bzw. Korrosion führen. Für die Luftentfeuchtung des Platinenlagers eignen sich die mobilen Adsorptionstrockner der TTR-Serie – genauso wie für andere Betriebsbereiche der Elektronik- und Halbleiterproduktion.

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  • Prozesse klimatisieren in der Industrie

    Bei der Prozessklimatisierung in der Industrie kommen oft Konzepte mit stationärer bzw. mobiler Luftentfeuchtung zum Einsatz. Häufig ist lokal in Maschinen, Anlagen oder einzelnen Arbeitsprozessen trockenere Luft erforderlich – konstant und unabhängig von den Umgebungsbedingungen. Bei der Trotec Group finden Industriekunden dafür leistungsstarke Adsorptionstrockner.

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  • Virenfreie Raumluft in Logistikzentren und Produktionsbereichen

    Aktuelle Coronaausbrüche in Post- oder Paketverteilzentren und verschiedenen Verarbeitungsbetrieben sind eindrucksvoller Beleg, wie schnell Produktions- oder Logistikabläufe radikal unterbrochen werden können, wenn auch nur ein Infizierter unter der Belegschaft weilt und keine wirksamen Gegenmaßnahmen zur Unterbindung einer luftgetragenen Ansteckung innerhalb der Arbeitszonen getroffen wurden. Ein...

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  • Entfeuchtung & Luftreinigung im Lager

    Für die Luftentfeuchtung bietet Ihnen die Trotec Group verschiedene Lösungen an – von Kondensationsentfeuchtern der DH-Serie bis zu den Adsorptionstrocknern der TTR-Serie. Beide gibt es in mobilen und stationären Ausführungen. Sie finden bei uns für jedes Warenlager bzw. Versandlager die richtige Entfeuchtungstechnik. Innovative Messgeräte und Datenlogger runden das Luftentfeuchtungskonzept für...

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  • Luftentfeuchtung in Schiffsladeräumen

    Gegen Schimmel, Verkeimung und Korrosion an Transportgütern und dem Schiff hilft nur eins: die Laderäume mit konstant trockener Luft mit einer auf die Ladung abgestimmten Luftfeuchte zu versorgen. Dies gelingt zuverlässig mit einem professionell geplanten System zur Luftentfeuchtung.

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  • Lagerzelte/Zelthallen

    Zelthallen und große Lagerzelte sind schnell und kostengünstig aufgebaut im Vergleich zu konventionellen Lagerhallen. Die einzigen Herausforderungen gegenüber Gebäuden sind – selbst bei isolierten Zelthallen – Kondenswasser sowie die Regulierung der Luftfeuchtigkeit. Stationäre Hochleistungstrockner mit Schlauchsystemen für eine gleichmäßige Trockenluftzufuhr verhindern Feuchtigkeitsprobleme im...

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